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英諾激光
概述
半導體芯片制造部分關鍵工序中,穩定可靠的高功率綠光、紫外和深紫外激光器是有效加工手段之一。我司是少數能夠提供應用于LOW-K材料半導體晶圓分切的深紫外激光器的廠商之一,公司開發的皮秒深紫外激光器在半導體晶圓缺陷檢測等領域獲得應用。
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